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          LS高速中空軸電機在半導體行業應用

          發布時間:2023-07-28   點擊次數:448次

          LS高速中空軸電機在半導體行業應用

          隨著國內的半導體行業的發展,制程設備關鍵零部件,LS特研制出的空心軸高速伺服電機,有著20多年行業應用。服務于半導體涂膠、顯影、清洗設備中,吸附晶圓工藝,該電機具備高加速度,速度范圍寬,高響應性等特點,在業內廣受客戶好評。

          一、Spinner  Motor中空軸電機的特點

          1、中空軸高速電機結構:額定轉速:5000rpm,最大轉速6000-8000rpm

          2、超快的加速/減速時間;

          3、低噪音、低震動、軸端跳動系數低至;

          4、軸孔采用真空空心軸設計,軸端個性化的設計,確保chunk運行平穩

          5、電機功率:750W,采用水冷卻系統設計,符合6、8、12晶圓的要求

          6、針對不同用戶可以為客戶進行軸端定制化設計

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          二、高速中空電機的應用范圍:
          1、曝光顯影設備 (涂膠,顯影) 光刻加工程序的主要設備及掌控涂層,曝光,顯影。
          2、清洗、涂膠、顯影去膜設備。
          3、適用于物理沖洗清潔、顆粒清洗及噴霧工藝。

          三、高速中空軸伺服產品規格及應用領域

          1、 750W – 5000 , 6000 rpm

          2、應用領域(機型)

          l 8寸、 12寸半導體設備

          l 涂膠、顯影、清洗、刻蝕等工藝

          l 瞬時加速

          l 特殊的軸端設計,確保軸端負載跳動平穩

                         液體散熱




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